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產(chǎn)品詳情
簡單介紹:
HORIBA堀場非接觸式化學(xué)藥液濃度計CS-900
下一代濕法制程。HORIBA 提供提升產(chǎn)能的化學(xué)藥液濃度管理設(shè)備,以幫助改進(jìn)制程。
為達(dá)到半導(dǎo)體濕法制程中所需的嚴(yán)格化學(xué)藥液濃度控制,HORIBA 通過設(shè)計緊湊設(shè)備,以及通過其原有傳感器設(shè)計保持穩(wěn)定測量和確保操作人員**,實現(xiàn)更強大功能以滿足需求。
詳情介紹:
國內(nèi)HORIBA堀場非接觸式化學(xué)藥液濃度計CS-900國內(nèi)各區(qū)域供應(yīng)
全部無接觸,高度穩(wěn)定
從外部將傳感器直接連接到 PFA 管路,實現(xiàn)零污染。這消除了在安裝傳感器時進(jìn)行管路施工的要求,從而減少化學(xué)事故。此外,通過升級光學(xué)系統(tǒng),設(shè)備變得更加緊湊,同時保留 CS-600F*1 的原始規(guī)格。
高質(zhì)量、穩(wěn)定測量
- 零污染
- 配備溫度補償功能,實現(xiàn)穩(wěn)定測量
- 配備 HORIBA 原始算法,補償氣泡影響
- 重復(fù)性和穩(wěn)定性與常規(guī)的 CS-600*1 相同
抑制振動效應(yīng)
- HORIBA 采用抗錯位強的光學(xué)系統(tǒng)結(jié)構(gòu),與 HORIBA 的原始管路結(jié)構(gòu)協(xié)同配合。
節(jié)省空間
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光源和光學(xué)傳感器已集成至樣品單元。
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平板顯示器(9.6cm x 9.6cm)
光源壽命更長
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使用 LED 燈,延長使用壽命(5 年質(zhì)保期)
提高工作**性
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每半年一次的背景校正補償周期
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安裝產(chǎn)品時無需安裝管路,有助于減少化學(xué)藥液泄漏等事故。
*1 CS-600 是 HORIBA 的光纖型化學(xué)藥液濃度計。
不使用光纖的光學(xué)設(shè)計和主機,加上傳感器的縮小提升了安裝的自由度
對于寬溫度范圍(20℃ 至 80℃)的化學(xué)藥液,可進(jìn)行直接、穩(wěn)定的測量
穩(wěn)定性
測量條件
測量頻率:每 3 秒
移動平均數(shù):16 次
溫度:室溫
管徑:3/4 英寸
初始樣品濃度
NH3 : 0.95% H2O2 : 5.15% H2O: 93.9%
測量結(jié)果
樣品(實際液體)測量 1 小時,展示出良好的穩(wěn)定性。
易于裝卸
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